多輸入多輸出加熱系統控制技術

本研究針對晶圓加熱系統開發多輸入多輸出控制技術。此加熱系統藉由複數個加熱管作為加熱源，以複數個熱電偶作為溫度感測。計畫的目的為建立由熱電偶溫度感測輸出到加熱管電壓輸入的控制演算法，此演算法將於電腦透過A/D與D/A介面實現，使各個感測點的溫度能均勻一致的升溫與溫度調節。有別於傳統以試誤法獲得控制參數，本研究建立之控制開發架構為加熱系統提供系統化的設計方法。此架構不限於特定機台，而可廣用於各種多輸入多輸出加熱系統，此架構可在設計階段對控制性能作量化規範。